岗位职责:
1、负责电镀、溅射工艺的开发、优化与量产支持,涵盖铜电镀 和金属薄膜的沉积;
2、主导电镀、溅射工艺优化:厚度均匀性、延展性、应力、空洞率、附着力和粘附层沉积、导电层沉积等关键参数的控制与提升,确保产品可靠性和良率;
3、参与新产品工艺导入,制定电镀、溅射工艺流程、规范及控制计划;
4、分析电镀、溅射相关缺陷(如凸点空洞、桥接、漏镀、剥落、电流密度不均和金属开裂、非均匀、台阶覆盖差等),推动根本原因分析并实施纠正措施;
5、管理电镀、溅射设备的日常运行,协调设备维护、材料电镀溶液更换与性能验证;
6、编写和维护工艺文件(SOP、FMEA、CP、ECN等),确保流程标准化与合规性;
任职资格:
1、熟悉电镀、溅射基本原理:掌握极化曲线、电流密度分布、辉光放电、等离子轰击、溅射产额等;
2、掌握电镀工艺类型: 酸性硫酸铜电镀用于RDL、TSV填充和主流溅射技术:直流溅射、射频溅射、磁控溅射;
3、熟悉电镀添加剂作用机制:加速剂、抑制剂、整平剂对镀层形貌的影响和溅射工艺参数影响: 溅射功率、气压、磁场分布、膜厚均匀性、应力、Rs、附着力的影响;
4、能独立完成工艺调试、问题排查与良率提升且具备 DOE、SPC、FMEA 等分析应用能力;
5、具有出色的数据分析能力,熟练使用 Excel、JMP、Minitab 等工具;
6、熟悉 ISO9001质量体系 和EHS管理体系;
7、本科及以上学历,微电子、物理、材料科学、化学工程、光电或相关理工科专业;
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